压电双晶片扫描器的低温迟滞蠕变特性

张旋; 潘鸣

doi:doi:10.3788/ope.20122005.1064

光学精密工程, 2012, 20 (5): 1064, 网络出版: 2012-08-08

压电双晶片扫描器的低温迟滞蠕变特性

Cryogenic hysteresis and creep characteristics of piezoelectric bimorph scanner

张旋 ^1,*潘鸣 ²

作者单位

¹ 中国科学院上海技术物理研究所，上海 200083

² 中国电子科技集团公司第五十研究所，上海 200063

图 & 表

张旋, 潘鸣. 压电双晶片扫描器的低温迟滞蠕变特性[J]. 光学精密工程, 2012, 20(5): 1064. ZHANG Xuan, PAN Ming. Cryogenic hysteresis and creep characteristics of piezoelectric bimorph scanner[J]. Optics and Precision Engineering, 2012, 20(5): 1064.