基于CCD尺寸测量中图像边缘退化及恢复技术研究 | 应用光学 -- 中国光学期刊网

应用光学, 2013, 34 (6): 995, 网络出版: 2013-12-04

基于CCD尺寸测量中图像边缘退化及恢复技术研究

Restoration of degraded edge in size measurement based on CCD image

刘宾 ^*王黎明赵霞

作者单位

中北大学　电子测试技术国家重点实验室，山西太原 030051

尺寸测量直边衍射边缘退化边缘恢复 size measurement straight edge diffraction edge degradation edge restoration

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