中北大学 电子测试技术国家重点实验室，山西 太原 030051
针对直边衍射效应造成的图像边缘退化问题，建立边缘退化模型。从菲涅尔直边衍射理论出发，基于信号与系统理论的图像边缘退化数学描述方法，分析了造成图像边缘退化的原因。通过分析不同光源波长和成像物距下直边衍射强度分布曲线的特点，构造简单函数实现衍射光强分布的近似，进而得到退化系统传递函数; 利用退化系统传递函数构造滤波器对获取图像的边缘进行恢复，从而提高尺寸测量精度。实验结果表明: 经边缘恢复方法校正后的测量结果误差约为0.02 mm，相对未校正数据的测量结果误差减小0.04 mm，提高了尺寸测量精度。
尺寸测量 直边衍射 边缘退化 边缘恢复 size measurement straight edge diffraction edge degradation edge restoration
