红外与激光工程, 2016, 45 (10): 1018004, 网络出版: 2016-11-14   

适用于FSM系统的菱形微位移放大机构设计

Design of rhomboid micro stroke amplifier for FSM system
方楚 1,2,3郭劲 1,2徐新行 1,3姜振华 1,2王挺峰 1,2
作者单位
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
2 激光与物质相互作用国家重点实验室, 吉林 长春 130033
3 中国科学院大学, 北京 100049
基本信息
DOI: 10.3788/irla201645.1018004
中图分类号: TH741
栏目: 光学设计及仿真
项目基金: 长春市科技计划项目(2013270)
收稿日期: 2016-02-20
修改稿日期: --
网络出版日期: 2016-11-14
通讯作者:
备注: --

方楚, 郭劲, 徐新行, 姜振华, 王挺峰. 适用于FSM系统的菱形微位移放大机构设计[J]. 红外与激光工程, 2016, 45(10): 1018004. Fang Chu, Guo Jin, Xu Xinhang, Jiang Zhenhua, Wang Tingfeng. Design of rhomboid micro stroke amplifier for FSM system[J]. Infrared and Laser Engineering, 2016, 45(10): 1018004.

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