适用于FSM系统的菱形微位移放大机构设计 | 红外与激光工程 -- 中国光学期刊网

红外与激光工程, 2016, 45 (10): 1018004, 网络出版: 2016-11-14

适用于FSM系统的菱形微位移放大机构设计

Design of rhomboid micro stroke amplifier for FSM system

方楚 ^1,2,3郭劲 ^1,2徐新行 ^1,3姜振华 ^1,2王挺峰 ^1,2

作者单位

¹ 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林长春 130033

² 激光与物质相互作用国家重点实验室, 吉林长春 130033

³ 中国科学院大学, 北京 100049

快速反射镜压电陶瓷位移放大机构菱形结构 fast steering mirror piezoelectric stroke amplifier rhomboid mechanism

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