光学 精密工程, 2015, 23 (1): 184, 网络出版: 2015-02-15
杠杆式尺蠖压电直线驱动器
Linear lever-type piezoelectric inchworm actuator
引用该论文
马立, 肖金涛, 周莎莎, 孙立宁. 杠杆式尺蠖压电直线驱动器[J]. 光学 精密工程, 2015, 23(1): 184.
MA Li, XIAO Jin-tao, ZHOU Sha-sha, SUN Li-ning. Linear lever-type piezoelectric inchworm actuator[J]. Optics and Precision Engineering, 2015, 23(1): 184.
3、 Development and measurement of a parallel-type self-decoupling 2-dimension micro-motion stage光学 精密工程, 2017, 25 (7): 1874
马立, 肖金涛, 周莎莎, 孙立宁. 杠杆式尺蠖压电直线驱动器[J]. 光学 精密工程, 2015, 23(1): 184. MA Li, XIAO Jin-tao, ZHOU Sha-sha, SUN Li-ning. Linear lever-type piezoelectric inchworm actuator[J]. Optics and Precision Engineering, 2015, 23(1): 184.