光学学报, 2012, 32 (7): 0705002, 网络出版: 2012-05-24
全息曝光系统轴向调节误差对光栅衍射波像差的影响
Wavefront Aberration Analysis of the Interference Image According to Different Axis Alignment Errors in the Grating Exposure System
基本信息
| DOI: | 10.3788/aos201232.0705002 |
| 中图分类号: | O433.4 |
| 栏目: | 衍射与光栅 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金（60478034）、国家创新方法工作专项项目（2008IM040700）、国家重大科学仪器设备开发专项（2011YQ120023）和中国科学院知识创新项目（100132H100）资助课题。 |
| 收稿日期: | 2012-01-09 |
| 修改稿日期: | 2012-02-27 |
| 网络出版日期: | 2012-05-24 |
| 通讯作者: | 韩建 (hanjian523@163.com) |
| 备注: | -- |
韩建, 巴音贺希格, 李文昊, 孔鹏. 全息曝光系统轴向调节误差对光栅衍射波像差的影响[J]. 光学学报, 2012, 32(7): 0705002. Han Jian, Bayanheshig, Li Wenhao, Kong Peng. Wavefront Aberration Analysis of the Interference Image According to Different Axis Alignment Errors in the Grating Exposure System[J]. Acta Optica Sinica, 2012, 32(7): 0705002.
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