中国激光, 2017, 44 (4): 0402003, 网络出版: 2017-04-10
激光诱导背向湿式刻蚀蓝宝石过程中声发射信号检测试验
Experimental Study on Acoustic Emission Signal Detection in Process of Laser-Induced Backside Wet Etching of Sapphire
基本信息
| DOI: | 10.3788/cjl201744.0402003 |
| 中图分类号: | TN249;O426 |
| 栏目: | 激光制造 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金(51575114)、广东省普通高校特色创新项目(2014KTSCX059)、广州市科技计划(201607010156)、 广东省自然科学基金(S2013010014070) |
| 收稿日期: | 2016-11-16 |
| 修改稿日期: | 2016-12-19 |
| 网络出版日期: | 2017-04-10 |
| 通讯作者: | 罗志良 (1157740692@qq.com) |
| 备注: | -- |
罗志良, 谢小柱, 魏昕, 胡伟, 任庆磊, 江伟. 激光诱导背向湿式刻蚀蓝宝石过程中声发射信号检测试验[J]. 中国激光, 2017, 44(4): 0402003. Luo Zhiliang, Xie Xiaozhu, Wei Xin, Hu Wei, Ren Qinglei, Jiang Wei. Experimental Study on Acoustic Emission Signal Detection in Process of Laser-Induced Backside Wet Etching of Sapphire[J]. Chinese Journal of Lasers, 2017, 44(4): 0402003.
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