中国激光, 2017, 44 (4): 0402003, 网络出版: 2017-04-10
激光诱导背向湿式刻蚀蓝宝石过程中声发射信号检测试验
Experimental Study on Acoustic Emission Signal Detection in Process of Laser-Induced Backside Wet Etching of Sapphire
激光技术 激光诱导背向湿式刻蚀 声发射信号 蓝宝石 laser technique laser-induced backside wet etching acoustic emission signal sapphire
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