光谱学与光谱分析, 2018, 38 (9): 2672, 网络出版: 2018-10-02
石英衬底上GaN薄膜沉积及其光学性能的研究
Study on the Deposition and Optical Properties of GaN Films at Quartz Substrate
基本信息
| DOI: | 10.3964/j.issn.1000-0593(2018)09-2672-04 |
| 中图分类号: | TN304.2 |
| 栏目: | |
| 项目基金: | 国家自然科学基金项目(61372195, 61304069, 51472047), 辽宁省科技厅自然科学基金项目(20170540664), 辽宁省教育厅科研项目(L2015377)和辽宁省教育厅重点实验室基础研究项目(LZ2014050)资助 |
| 收稿日期: | 2017-09-24 |
| 修改稿日期: | 2018-01-12 |
| 网络出版日期: | 2018-10-02 |
| 通讯作者: | |
| 备注: | -- |
张东, 赵琰, 宋世巍, 李昱材, 王健, 毕孝国, 高靖, 王春生. 石英衬底上GaN薄膜沉积及其光学性能的研究[J]. 光谱学与光谱分析, 2018, 38(9): 2672. ZHANG Dong, ZHAO Yan, SONG Shi-wei, LI Yu-cai, WANG Jian, BI Xiao-guo, GAO Jing, WANG Chun-sheng. Study on the Deposition and Optical Properties of GaN Films at Quartz Substrate[J]. Spectroscopy and Spectral Analysis, 2018, 38(9): 2672.
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