光谱学与光谱分析, 2018, 38 (9): 2672, 网络出版: 2018-10-02  

石英衬底上GaN薄膜沉积及其光学性能的研究

Study on the Deposition and Optical Properties of GaN Films at Quartz Substrate
作者单位
1 沈阳工程学院新能源学院, 辽宁 沈阳 110136
2 国家电网辽宁省电力有限公司, 辽宁 沈阳 110004
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张东, 赵琰, 宋世巍, 李昱材, 王健, 毕孝国, 高靖, 王春生. 石英衬底上GaN薄膜沉积及其光学性能的研究[J]. 光谱学与光谱分析, 2018, 38(9): 2672. ZHANG Dong, ZHAO Yan, SONG Shi-wei, LI Yu-cai, WANG Jian, BI Xiao-guo, GAO Jing, WANG Chun-sheng. Study on the Deposition and Optical Properties of GaN Films at Quartz Substrate[J]. Spectroscopy and Spectral Analysis, 2018, 38(9): 2672.

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