石英衬底上GaN薄膜沉积及其光学性能的研究 | 光谱学与光谱分析 -- 中国光学期刊网

光谱学与光谱分析, 2018, 38 (9): 2672, 网络出版: 2018-10-02

石英衬底上GaN薄膜沉积及其光学性能的研究

Study on the Deposition and Optical Properties of GaN Films at Quartz Substrate

张东 ¹赵琰 ¹宋世巍 ¹李昱材 ¹王健 ¹毕孝国 ¹高靖 ²王春生 ²

作者单位

¹ 沈阳工程学院新能源学院, 辽宁沈阳 110136

² 国家电网辽宁省电力有限公司, 辽宁沈阳 110004

GaN薄膜石英衬底 ECR-PEMOCVD系统光学性能 GaN film Quartz substrate ECR-PEMOCVD system Optical performance

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