激光技术, 2019, 43 (1): 30, 网络出版: 2019-01-22
新型光刻技术研究进展
Recent progress of novel photolithography technologies
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何立文, 罗乐, 孟钢, 邵景珍, 方晓东. 新型光刻技术研究进展[J]. 激光技术, 2019, 43(1): 30. HE Liwen, LUO Le, MENG Gang, SHAO Jingzhen, FANG Xiaodong. Recent progress of novel photolithography technologies[J]. Laser Technology, 2019, 43(1): 30.