红外与毫米波学报, 2004, 23 (1): 6, 网络出版: 2006-05-10   

红外30μm亚波长抗反射光栅的制作

FABRICATION OF ANTIREFLECTIVE SUBWAVELENGTH GRATING AT INFRARED 30μm REGION
作者单位
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130022
2 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光电传感技术研究室,吉林,长春,130022
3 南开大学现代光学研究所,光电信息,技术科学教育部重点实验室,天津,300071
图 & 表

曹召良, 卢振武, 张平, 王淑荣, 赵晶丽, 李凤有. 红外30μm亚波长抗反射光栅的制作[J]. 红外与毫米波学报, 2004, 23(1): 6. 曹召良, 卢振武, 张平, 王淑荣, 赵晶丽, 李凤有. FABRICATION OF ANTIREFLECTIVE SUBWAVELENGTH GRATING AT INFRARED 30μm REGION[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2004, 23(1): 6.

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