激光与光电子学进展, 2003, 40 (8): 12, 网络出版: 2006-06-27
X射线多层反射膜
摘要
评述X射线多层反射膜原理、现状和问题.讨论了投影X射线光刻和X射线毛细管放电重复率激光器所用的反射镜.
Abstract
参考文献
白光. X射线多层反射膜[J]. 激光与光电子学进展, 2003, 40(8): 12. 白光. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2003, 40(8): 12.
白光. X射线多层反射膜[J]. 激光与光电子学进展, 2003, 40(8): 12. 白光. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2003, 40(8): 12.
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