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激光器与激光光学
X射线多层反射膜
白光 
作者单位
摘要
中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800
评述X射线多层反射膜原理、现状和问题.讨论了投影X射线光刻和X射线毛细管放电重复率激光器所用的反射镜.
X射线光学 X射线激光器 投影X射线光刻 
PDF全文 Full Text
激光与光电子学进展
2003, 40(8): 12
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