光学学报, 2014, 34 (s1): s112004, 网络出版: 2014-07-03
基于斜率传感的平面元件面形检测技术研究
Study on the Surface Shape Measurement of Planar Element Based on Slope Sensor Method
基本信息
| DOI: | 10.3788/aos201434.s112004 |
| 中图分类号: | O436 |
| 栏目: | 仪器，测量与计量 |
| 项目基金: | 国家973计划(2013CB328802)、国家自然科学基金(61377018) |
| 收稿日期: | 2013-10-23 |
| 修改稿日期: | 2013-11-13 |
| 网络出版日期: | 2014-07-03 |
| 通讯作者: | 鄂可伟 (ekeweia121@sina.com) |
| 备注: | -- |
鄂可伟, 李大海, 李萌阳, 赵霁文, 李水艳, 张充, 代贞强, 王琼华. 基于斜率传感的平面元件面形检测技术研究[J]. 光学学报, 2014, 34(s1): s112004. E Kewei, Li Dahai, Li Mengyang, Zhao Jiwen, Li Shuiyan, Zhang Chong, Dai Zhenqiang, Wang Qionghua. Study on the Surface Shape Measurement of Planar Element Based on Slope Sensor Method[J]. Acta Optica Sinica, 2014, 34(s1): s112004.
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