不同脉宽皮秒激光对介质膜损伤修复的热影响

熊智敏; 张攀政; 范薇; 汪小超; 黄大杰; 李学春

doi:doi:10.3788/cjl201239.0803005

中国激光, 2012, 39 (8): 0803005, 网络出版: 2012-07-09

不同脉宽皮秒激光对介质膜损伤修复的热影响

Heat Affection of Pico-Second Laser Irradiation with Different Widths on the Dielectric Film Damage Ablation

熊智敏 ^*张攀政范薇汪小超黄大杰李学春

作者单位

中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光与物理联合实验室，上海 201800

图 & 表

熊智敏, 张攀政, 范薇, 汪小超, 黄大杰, 李学春. 不同脉宽皮秒激光对介质膜损伤修复的热影响[J]. 中国激光, 2012, 39(8): 0803005. Xiong Zhimin, Zhang Panzheng, Fan Wei, Wang Xiaochao, Huang Dajie, Li Xuechun. Heat Affection of Pico-Second Laser Irradiation with Different Widths on the Dielectric Film Damage Ablation[J]. Chinese Journal of Lasers, 2012, 39(8): 0803005.