光学学报, 2016, 36 (8): 0811001, 网络出版: 2016-08-18   

基于多染色体遗传算法的像素化光源掩模优化方法 下载: 515次

Pixelated Source Mask Optimization Based on Multi Chromosome Genetic Algorithm
杨朝兴 1,2,*李思坤 1,2王向朝 1,2
作者单位
1 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室, 上海 201800
2 中国科学院大学, 北京 100049
基本信息
DOI: 10.3788/aos201636.0811001
中图分类号: TN305.7
栏目: 成像系统
项目基金: 国家自然科学基金(61275207,61205102, 61405210,61474129)
收稿日期: 2016-02-02
修改稿日期: 2016-03-30
网络出版日期: 2016-08-18
通讯作者: 杨朝兴 (yangcoloy@siom.ac.cn)
备注: --

杨朝兴, 李思坤, 王向朝. 基于多染色体遗传算法的像素化光源掩模优化方法[J]. 光学学报, 2016, 36(8): 0811001. Yang Chaoxing, Li Sikun, Wang Xiangzhao. Pixelated Source Mask Optimization Based on Multi Chromosome Genetic Algorithm[J]. Acta Optica Sinica, 2016, 36(8): 0811001.

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