光学学报, 2016, 36 (8): 0811001, 网络出版: 2016-08-18
基于多染色体遗传算法的像素化光源掩模优化方法 下载: 515次
Pixelated Source Mask Optimization Based on Multi Chromosome Genetic Algorithm
基本信息
DOI: | 10.3788/aos201636.0811001 |
中图分类号: | TN305.7 |
栏目: | 成像系统 |
项目基金: | 国家自然科学基金(61275207,61205102, 61405210,61474129) |
收稿日期: | 2016-02-02 |
修改稿日期: | 2016-03-30 |
网络出版日期: | 2016-08-18 |
通讯作者: | 杨朝兴 (yangcoloy@siom.ac.cn) |
备注: | -- |
杨朝兴, 李思坤, 王向朝. 基于多染色体遗传算法的像素化光源掩模优化方法[J]. 光学学报, 2016, 36(8): 0811001. Yang Chaoxing, Li Sikun, Wang Xiangzhao. Pixelated Source Mask Optimization Based on Multi Chromosome Genetic Algorithm[J]. Acta Optica Sinica, 2016, 36(8): 0811001.