硅微机械悬臂梁红外辐射热探测技术的研究
刘月明, 田维坚, 张少君. 硅微机械悬臂梁红外辐射热探测技术的研究[J]. 光子学报, 2004, 33(3): 371.
刘月明, 田维坚, 张少君. 硅微机械悬臂梁红外辐射热探测技术的研究[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2004, 33(3): 371.
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