光子学报, 2004, 33 (3): 371, 网络出版: 2006-10-25
硅微机械悬臂梁红外辐射热探测技术的研究
图 & 表
刘月明, 田维坚, 张少君. 硅微机械悬臂梁红外辐射热探测技术的研究[J]. 光子学报, 2004, 33(3): 371. 刘月明, 田维坚, 张少君. [J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2004, 33(3): 371.
刘月明, 田维坚, 张少君. 硅微机械悬臂梁红外辐射热探测技术的研究[J]. 光子学报, 2004, 33(3): 371. 刘月明, 田维坚, 张少君. [J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2004, 33(3): 371.