硅微机械悬臂梁红外辐射热探测技术的研究 | 光子学报 -- 中国光学期刊网

光子学报, 2004, 33 (3): 371, 网络出版: 2006-10-25

硅微机械悬臂梁红外辐射热探测技术的研究

刘月明 ^1,2田维坚 ¹张少君 ²

作者单位

¹ 中国科学院西安光学精密机械研究所,西安,710068

² 西安理工大学,西安,710048

红外辐射热探测硅微悬臂梁镀膜优化

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