光学学报, 2014, 34 (s2): s231001, 网络出版: 2014-11-19  

不同沉积温度下单纯蒸镀二氧化硅薄膜的光学特性研究 下载: 507次

Study on the Optical Characteristic of Silicon Dioxide Thin Films Deposited in Different Temperatures
作者单位
中国科学院上海技术物理研究所, 上海 200083
引用该论文

罗海瀚, 蔡清元, 李耀鹏, 刘定权. 不同沉积温度下单纯蒸镀二氧化硅薄膜的光学特性研究[J]. 光学学报, 2014, 34(s2): s231001.

Luo Haihan, Cai Qingyuan, Li Yaopeng, Liu Dingquan. Study on the Optical Characteristic of Silicon Dioxide Thin Films Deposited in Different Temperatures[J]. Acta Optica Sinica, 2014, 34(s2): s231001.

参考文献

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