蔡清元 1冯旗 1陈刚 1宋庆君 2[ ... ]刘定权 1,**
作者单位
摘要
1 中国科学院上海技术物理研究所,上海 200083
2 国家卫星海洋应用中心, 北京 100081
以海洋一号C/D卫星中国水色水温扫描仪[COCTS (HY-1C/D)]的光学薄膜研制为例,介绍了海洋水色定量化遥感中应用的光学薄膜技术。在单片基片的不同通道区域依次镀制多块滤光膜以抑制杂散光的产生,充分研究了光束空间角频率分布带来的光谱及偏振影响,实现了5%带宽的定位精度,将通道滤光膜对偏振灵敏度的影响降到0.3%以下,采用双离子束溅射工艺来保证膜层的可靠性和光谱性能。此外,通过光学薄膜元件的偏振调控设计以及元件间的偏振补偿,实现了系统偏振灵敏度达到国际先进水平,0°扫描角时的平均偏振灵敏度小于1%。光学薄膜技术的应用有效提升了海洋水色的定量化遥感质量,结合大气校正,COCTS (HY-1C/D)获得的水色产品数据量化精度与美国的中分辨率成像光谱仪(MODIS)和可见光红外成像辐射仪(VIIRS)相当。
海洋光学 中国水色水温扫描仪 定量化遥感 光学薄膜 多波段集成滤光片 偏振灵敏度 
光学学报
2023, 43(24): 2401001
周晟 1,3刘定权 1,2,3,*王凯旋 1李耀鹏 1[ ... ]朱浩翔 1
作者单位
摘要
1 中国科学院上海技术物理研究所,上海 200083
2 上海科技大学 物质科学与技术学院,上海 200031
3 中国科学院大学,北京 100049
双带通滤光片可以在元件的任意一个几何位置上同时透过两个光谱通道,从而实现双光谱通道的同时探测。文中研制了一种在100 K低温下使用的短波和中波红外双带通滤光片,选用Ge和SiO分别作为高低折射率膜层,在蓝宝石(Al2O3)基片上设计了具有Fabre-Perot(F-P)结构的短波通道滤光膜系和中波通道滤光膜系,它们在另一通带位置兼具增透能力,组合形成了包含短波通道(2.60~2.85 μm)和中波通道(4.10~4.40 μm)的双带通滤光片。Ge和SiO薄膜分别以电子束和电阻热蒸发的方式在高真空环境中完成沉积。测试结果显示,在100 K低温下,短波和中波通道的平均透射率分别达到91.2%和87.7%,顶部波纹幅度分别为2.1%和3.8%,波长3.00~3.95 μm光谱区域内的截止深度低于0.1%。该双带通滤光片在低温下的光学性能满足光学成像仪器的光谱应用要求,有利于更加精确的红外遥感和探测。
光学薄膜 双带通滤光片 低温光谱 红外 optical thin film dual bang-pass filter cryogenic spectrum infrared 
红外与激光工程
2022, 51(9): 20210964
王凯旋 1,2,3陈刚 1刘定权 1,2,3,*马冲 1张秋玉 1,3
作者单位
摘要
1 中国科学院 上海技术物理研究所,上海 200083
2 上海科技大学 物质学院,上海 201210
3 中国科学院大学,北京 100049
波长为532 nm的绿色激光在大气层中有较强的穿透能力,可用于自由空间光通信和激光三维测绘,为了抑制背景光的干扰,需要半功率带宽小于100 pm的光谱滤波器。因此,设计并研制了基于光学干涉薄膜的超窄带滤光片。将五氧化二钽(Ta2O5)和二氧化硅(SiO2)分别作为高低折射率膜层材料,将熔石英作为基片,采用双离子束溅射沉积方法制备出所设计的光学薄膜。利用可调谐激光器和功率计测量滤光片的透射光谱,其半功率带宽为(60±2) pm,透过率达到62.6%。
光学薄膜 薄膜滤光片 皮米带宽 绿光波段 空间激光测绘 optical thin film thin film filter picometer bandwidth green light band space laser mapping 
中国光学
2022, 15(1): 119
王凯旋 1,2,3陈刚 1,3刘定权 1,2,3,*马冲 1[ ... ]高凌山 1,3
作者单位
摘要
1 中国科学院上海技术物理研究所, 上海 200083
2 上海科技大学物质学院, 上海 200031
3 中国科学院大学, 北京 100049
近红外波长为1.064 μm的激光是激光测距、自由空间光通信和空间光学遥感等应用中的主要激光光源之一。窄带滤光片是抑制背景光干扰的关键元件之一,目前大部分滤光片的半峰全宽为几纳米。本文研制了中心波长为(1064±0.05) nm、半峰全宽为0.19 nm、峰值透过率可达70.2%的带通滤光片,并考察了不同温度(100,200,300 ℃)退火处理后滤光片的表面形貌和光谱特性的变化。实验结果表明:滤光片的表面光滑,受退火温度的影响很小;滤光片的透射光谱随着退火温度的升高向长波方向移动,在100 ℃退火处理3 h的滤光片的光谱漂移量为0.03 nm,说明该滤光片可在温控条件有限的空间光学系统中使用。
薄膜 亚纳米带宽滤光片 离子束溅射沉积 近红外波段 退火温度 
光学学报
2021, 41(20): 2031001
作者单位
摘要
中国科学院上海技术物理研究所,上海 200083
为具备尽量宽的波长调谐范围,可调谐Fabry-Perot滤波器(TFPF)作为分光器件应用于高光谱遥感时其腔长必须很小。不同于传统Fabry-Perot干涉仪,当TFPF的腔长与谐振波长相当时,其反射镜上的反射相移不可忽略。本文基于传输矩阵方法,在宽光谱范围内对介质反射镜的反射相移和TFPF的滤波特性进行了数值计算。结果显示,考虑反射相移后TFPF表现出更高的光谱分辨率,并且波长调谐范围被压缩。研究成果对面向高光谱遥感应用的TFPF的结构设计和波长校准具有指导意义。
波长调谐范围 可调谐Fabry-Perot滤波器 高光谱遥感 反射相移 光谱分辨率 wavelength tuning range tunable Fabry-Perot filter hyperspectral remote sensing reflection phase shift spectral resolution 
红外与毫米波学报
2021, 40(1): 44
周晟 1,3王凯旋 1,2,3刘定权 1,2,3,*胡金超 1[ ... ]王曙光 1
作者单位
摘要
1 中国科学院 上海技术物理研究所,上海 200083
2 上海科技大学 物质科学与技术学院,上海 200031
3 中国科学院大学,北京 100049
双色滤光片在其任意一个几何位置上,均能够有效透过两个精确控制的光谱通道,它可以提升光学探测装置对目标的识别能力。本文选用单晶Ge作为基片,Ge和ZnSe分别作为高低折射率膜层材料,研制了一种包含3.2~3.8 μm(通道1)和4.9~5.4 μm(通道2)两个通道的红外双色滤光片。在高真空中以热蒸发的方式镀制了滤光片的光学膜层,采用单波长的极值百分比光学监控(POEM)方法控制膜层的光学厚度。在100 K低温下,通道1的平均透射率为94.2%,顶部波纹幅度为5.7%;通道2的平均透射率为96.5%,顶部波纹幅度为0.6%。在两个通道之间(4.0~4.7 μm)的截止区域内,平均透射率小于0.16%。该红外双色滤光片具有良好的光学稳定性,有利于高速运动目标的识别。
光学薄膜 双色滤光片 红外 低温光谱 optical thin film dual-color filter infrared cryogenic spectrum 
中国光学
2021, 14(3): 536
陈刚 1,3刘定权 1,2,3,*马冲 1王凯旋 1,3[ ... ]高凌山 1,3
作者单位
摘要
1 中国科学院上海技术物理研究所, 上海 200083
2 上海科学技术大学 物质学院, 上海 200031
3 中国科学院大学, 北京 100049
空间对地观测的遥感相机中需要基于干涉薄膜的双光谱通道滤光片,在同一几何点上同时形成可见光(波长500~720 nm)和近红外(波长(1 064±1) nm)两个光谱通道。这两个光谱通道的光谱位置和透射强度均需要进行精确控制。选用JGS-1石英玻璃作为滤光片基片,氧化钽(Ta2O5)和氧化硅(SiO2)分别作为高、低折射率薄膜,由双离子束溅射沉积方法将52层和88层介质薄膜分别镀制在基片的两个表面上。500~720 nm波段的平均透过率达到92%,(1 064±1)nm 波段的峰值透过率控制在(26±1)%的范围。
光学薄膜 双光谱通道滤光片 离子束溅射沉积 光谱控制 
红外与毫米波学报
2020, 39(6): 791
陈刚 1,3刘定权 1,2,3,*马冲 1王凯旋 1,2[ ... ]高凌山 1,3
作者单位
摘要
1 中国科学院上海技术物理研究所, 上海 200083
2 上海科技大学物质学院, 上海 200031
3 中国科学院大学, 北京 100049
为了观测大气层中的水汽含量以及CH4和CO2的浓度,在蓝宝石(Al2O3)基片上制备了两种窄带通滤光片,其中心波长分别为1375 nm和1610 nm,带宽分别为15 nm和60 nm,透过率均达到了95%。基于法布里-珀罗腔结构设计了带通滤光膜系,并对其进行了优化。与电子束蒸镀薄膜相比,采用双离子束溅射沉积方法制备的Nb2O5/SiO2滤光片薄膜,其表面质量明显改善,缺陷减少,表面粗糙度均方根降低到1 nm以下,显著改善了与光电探测器光耦合时的不均匀性。
薄膜 离子束溅射沉积 窄带通滤光片 表面形貌 
光学学报
2020, 40(21): 2131001
作者单位
摘要
1 中国科学院上海技术物理研究所, 上海 200083
2 中国科学院大学, 北京 100049
折衍混合透镜具有重量轻和结构紧凑的特点, 在空间光学仪器等方面有一定的优势。结合物镜设计要求的工作波段 3.7~4.8 .m、焦距 64 mm和 F数 1.6等参数, 采用了含有平面衍射微结构的 3片式分离镜片, 物镜总长度和重量得以明显减少, 减少约 40%。镜片选用了常用的红外光学材料硅和锗, 设计对公差的要求较为宽松, 得到的弥散斑半径小于 9.5 .m, 各个视场的 MTF值在 17毫米线对处均达到 0.8。硅平面镜表面的衍射微结构可以用 4次套镀薄膜的方法来实现 16个台阶, 分析了衍射微结构可接受的加工误差范围。选用 SiO和 ZnS膜层来减少镜片表面反射损失, 波段内物镜的光学效率达到 93%。
折衍混合 物镜 衍射微结构 光学设计 薄膜 refractive-diffractive hybrid, objective lens, dif 
红外技术
2019, 41(10): 918
作者单位
摘要
1 中国科学院上海技术物理研究所, 上海 200083
2 上海恒光警用器材有限公司, 上海 200432
为满足高光谱遥感应用对分光元件宽工作光谱范围的要求,根据Fabry-Perot(F-P)可调谐滤波器出现透射率极大值的相位条件,通过划分滤波器的工作光谱范围,选定干涉级数,确定F-P腔的腔长变化区间,来抑制F-P可调谐滤波器的多级透射峰。该方法可以有效拓展F-P可调谐滤波器的自由光谱范围,使其光谱扫描特性满足高光谱遥感应用要求。
光学器件 高光谱遥感 分光元件 工作光谱范围 Fabry-Perot可调谐滤波器 多级透射峰 
光学学报
2019, 39(3): 0323003

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