相同关键词【双光谱通道滤光片】论文列表 -- 中国光学期刊网

相同关键词【双光谱通道滤光片】论文列表

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Photoelectric Technology and Application

可见光和近红外双带通薄膜滤光片的光谱调控

陈刚 ^1,3刘定权 ^1,2,3,*马冲 ¹王凯旋 ^1,3[ ... ]高凌山 ^1,3

作者单位

摘要

¹ 中国科学院上海技术物理研究所，上海　200083

² 上海科学技术大学物质学院，上海　200031

³ 中国科学院大学，北京　100049

空间对地观测的遥感相机中需要基于干涉薄膜的双光谱通道滤光片，在同一几何点上同时形成可见光（波长500~720 nm）和近红外（波长（1 064±1） nm）两个光谱通道。这两个光谱通道的光谱位置和透射强度均需要进行精确控制。选用JGS-1石英玻璃作为滤光片基片，氧化钽（Ta₂O₅）和氧化硅（SiO₂）分别作为高、低折射率薄膜，由双离子束溅射沉积方法将52层和88层介质薄膜分别镀制在基片的两个表面上。500~720 nm波段的平均透过率达到92%，（1 064±1）nm 波段的峰值透过率控制在（26±1）%的范围。

光学薄膜双光谱通道滤光片离子束溅射沉积光谱控制

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红外与毫米波学报

2020, 39(6): 791

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