光学元件的疵病检测及现状 
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Defect detection and current situation of optical components
哈尔滨工业大学 航天学院，黑龙江 哈尔滨 150001
图 & 表
图 1. 表面微损伤检测方法
Fig. 1. Surface micro-damage detection method
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图 2. 目视法检测光学元件疵病原理
Fig. 2. Principle of optical element defect detection by visual method
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图 3. 暗场散射显微法原理图
Fig. 3. Schematic diagram of dark field scattering microscopy
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图 4. 激光共聚焦显微检测
Fig. 4. Confocal laser microscopy
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图 5. 自适应滤波成像法原理
Fig. 5. Principle of adaptive filter imaging method
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图 6. 全内反射显微法
Fig. 6. Total internal reflection microscopy
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图 7. 光切断法
Fig. 7. Optical cutting
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陆敏, 王治乐, 高萍萍, 郭继锴. 光学元件的疵病检测及现状[J]. 光学仪器, 2020, 42(3): 88. Min LU, Zhile WANG, Pingping GAO, Jikai GUO. Defect detection and current situation of optical components[J]. Optical Instruments, 2020, 42(3): 88.
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