基于位相测量偏折术的高精度检测平面光学元件面形的方法

李大海; 王瑞阳; 张新伟

doi:doi:10.5768/JAO202041.0405001

应用光学, 2020, 41 (4): 844, 网络出版: 2020-08-20

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Method of optical flat elements surface figure detection with high accuracy based on phase measurement deflectormetry

李大海王瑞阳张新伟

作者单位

四川大学电子信息学院，四川成都 610065

补充材料

李大海, 王瑞阳, 张新伟. 基于位相测量偏折术的高精度检测平面光学元件面形的方法[J]. 应用光学, 2020, 41(4): 844. Dahai LI, Ruiyang WANG, Xinwei ZHANG. Method of optical flat elements surface figure detection with high accuracy based on phase measurement deflectormetry[J]. Journal of Applied Optics, 2020, 41(4): 844.