红外与毫米波学报, 2018, 37 (1): 92, 网络出版: 2018-03-14   

碲锌镉衬底表面在碲镉汞液相外延工艺中的热腐蚀效应

Thermal erosion effect to CZT substrate surface during LPE growth of HgCdTe process
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昆明物理研究所,云南 昆明 650223
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宋林伟, 吴军, 孔金丞, 李东升, 张阳, 李沛, 杨翔, 万志远, 黄元晋, 木胜. 碲锌镉衬底表面在碲镉汞液相外延工艺中的热腐蚀效应[J]. 红外与毫米波学报, 2018, 37(1): 92. SONG Lin-Wei, WU Jun, KONG Jin-Cheng, LI Dong-Sheng, ZHANG Yang, LI Pei, YANG Xiang, WAN Zhi-Yuan, HUANG Yuan-Jin, MU Sheng. Thermal erosion effect to CZT substrate surface during LPE growth of HgCdTe process[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2018, 37(1): 92.

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