光学学报, 2020, 40 (14): 1405002, 网络出版: 2020-07-23
基于亚波长光栅的高集成度垂直光耦合器 
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Ultra-Compact Vertical Optical Coupler Based on Subwavelength Grating
图 & 表
图 1. 垂直光耦合器示意图。(a) 三维结构;(b) 横截面;(c) 俯视图;(d) SWG及拉锥波导三维示意图
Fig. 1. Schematics of designed vertical optical coupler. (a) 3D diagram; (b) cross-sectional view; (c) top view; (d) 3D diagram of SWG and tapered waveguide
图 2. SWG等效折射率下的有效折射率
Fig. 2. Effective refractive index versus equivalent refractive index of SWG
图 3. 亚波长光栅周期数与耦合率的关系
Fig. 3. Coupling ratio versus number of periods of subwavelength grating
图 5. 光场归一化的电场强度分布。(a) 俯视图;(b) 侧视图;(c) A处的横截面光场分布;(d) B处的横截面光场分布;(e) C处的横截面光场分布
Fig. 5. Normalized electric field intensity of light field. (a) Top view; (b) side view; (c) cross-sectional light field distribution at A; (d) cross-sectional light field distribution at B; (e) cross-sectional light field distribution at C
图 7. 工艺误差容限分析。(a)占空比变化对耦合率的影响;(b)拉锥波导尖端尺寸对耦合率的影响;(c)波导错位对耦合率的影响,其中插图示意了耦合器与LN波导的相对位置
Fig. 7. Tolerance analysis of process errors. (a)Coupling ratio versus duty cycle; (b) coupling ratio versus tip width of tapered waveguide; (c) coupling ratio versus misalignment, and position of coupler relative to LN waveguide indicated in inset
表 1垂直光耦合器波导的材料参数和结构参数
Table1. Material parameters and structural parameters of designed vertical optical coupler waveguide
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赵然, 孙崇磊, 徐晓, 赵佳. 基于亚波长光栅的高集成度垂直光耦合器[J]. 光学学报, 2020, 40(14): 1405002. Ran Zhao, Chonglei Sun, Xiao Xu, Jia Zhao. Ultra-Compact Vertical Optical Coupler Based on Subwavelength Grating[J]. Acta Optica Sinica, 2020, 40(14): 1405002.
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