中国激光, 2016, 43 (3): 0308007, 网络出版: 2016-03-04   

基于最小二乘迭代的多波长同时相移干涉测量方法

Simultaneous Phase-Shifting Multi-Wavelength Interferometry Based on the Least-Squares Iterative Algorithm
作者单位
1 深圳信息职业技术学院电子与通信学院, 广东 深圳 518172
2 华南师范大学广东省微纳光子功能材料与器件重点实验室, 广东 广州 510006
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