光学 精密工程, 2015, 23 (5): 1297, 网络出版: 2015-06-11
应用高精度旋转法的干涉仪检测误差校正
Error correction of interferometer detection with high-accuracy rotation method
引用该论文
韩冬松, 何昕, 魏仲慧, 李一芒. 应用高精度旋转法的干涉仪检测误差校正[J]. 光学 精密工程, 2015, 23(5): 1297.
HAN Dong-song, HE Xin, WEI Zhong-hui, LI Yi-mang. Error correction of interferometer detection with high-accuracy rotation method[J]. Optics and Precision Engineering, 2015, 23(5): 1297.
韩冬松, 何昕, 魏仲慧, 李一芒. 应用高精度旋转法的干涉仪检测误差校正[J]. 光学 精密工程, 2015, 23(5): 1297. HAN Dong-song, HE Xin, WEI Zhong-hui, LI Yi-mang. Error correction of interferometer detection with high-accuracy rotation method[J]. Optics and Precision Engineering, 2015, 23(5): 1297.