应用高精度旋转法的干涉仪检测误差校正

韩冬松; 何昕; 魏仲慧; 李一芒

doi:doi:10.3788/ope.20152305.1297

光学精密工程, 2015, 23 (5): 1297, 网络出版: 2015-06-11

应用高精度旋转法的干涉仪检测误差校正

Error correction of interferometer detection with high-accuracy rotation method

韩冬松 ^1,2,3,*何昕 ¹魏仲慧 ¹李一芒 ¹

作者单位

¹ 中国科学院长春光学精密机械及物理研究所, 吉林长春 130033

² 中国科学院大学, 北京 100039

³ 中国人民解放军防化研究院, 北京 102205

图 & 表

韩冬松, 何昕, 魏仲慧, 李一芒. 应用高精度旋转法的干涉仪检测误差校正[J]. 光学精密工程, 2015, 23(5): 1297. HAN Dong-song, HE Xin, WEI Zhong-hui, LI Yi-mang. Error correction of interferometer detection with high-accuracy rotation method[J]. Optics and Precision Engineering, 2015, 23(5): 1297.