光学 精密工程, 2015, 23 (5): 1297, 网络出版: 2015-06-11   

应用高精度旋转法的干涉仪检测误差校正

Error correction of interferometer detection with high-accuracy rotation method
作者单位
1 中国科学院 长春光学精密机械及物理研究所, 吉林 长春 130033
2 中国科学院大学, 北京 100039
3 中国人民解放军防化研究院, 北京 102205
基本信息
DOI: 10.3788/ope.20152305.1297
中图分类号: TH744.3;TB92
栏目: 现代应用光学
项目基金: 国家自然科学基金资助项目(No.60902067)、 吉林省重大科技攻关项目(No.112DGG001)
收稿日期: 2014-07-20
修改稿日期: 2014-09-03
网络出版日期: 2015-06-11
通讯作者: 韩冬松 (281054872@qq.com)
备注: --

韩冬松, 何昕, 魏仲慧, 李一芒. 应用高精度旋转法的干涉仪检测误差校正[J]. 光学 精密工程, 2015, 23(5): 1297. HAN Dong-song, HE Xin, WEI Zhong-hui, LI Yi-mang. Error correction of interferometer detection with high-accuracy rotation method[J]. Optics and Precision Engineering, 2015, 23(5): 1297.

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