光学 精密工程, 2015, 23 (5): 1297, 网络出版: 2015-06-11
应用高精度旋转法的干涉仪检测误差校正
Error correction of interferometer detection with high-accuracy rotation method
基本信息
DOI: | 10.3788/ope.20152305.1297 |
中图分类号: | TH744.3;TB92 |
栏目: | 现代应用光学 |
项目基金: | 国家自然科学基金资助项目(No.60902067)、 吉林省重大科技攻关项目(No.112DGG001) |
收稿日期: | 2014-07-20 |
修改稿日期: | 2014-09-03 |
网络出版日期: | 2015-06-11 |
通讯作者: | 韩冬松 (281054872@qq.com) |
备注: | -- |
韩冬松, 何昕, 魏仲慧, 李一芒. 应用高精度旋转法的干涉仪检测误差校正[J]. 光学 精密工程, 2015, 23(5): 1297. HAN Dong-song, HE Xin, WEI Zhong-hui, LI Yi-mang. Error correction of interferometer detection with high-accuracy rotation method[J]. Optics and Precision Engineering, 2015, 23(5): 1297.