光学 精密工程, 2017, 25 (12): 3048, 网络出版: 2018-01-10
Parylene增强型声表面波传感器及其温度响应
Parylene-enhanced SAW sensor and its temperature response
基本信息
| DOI: | 10.3788/ope.20172512.3048 |
| 中图分类号: | TP212.16 |
| 栏目: | 光栅微纳制造 |
| 项目基金: | 国家863高技术研究发展计划资助项目（No.2015AA042603） |
| 收稿日期: | 2017-05-19 |
| 修改稿日期: | 2017-06-22 |
| 网络出版日期: | 2018-01-10 |
| 通讯作者: | |
| 备注: | -- |
李敬, 潘海曦, 郭振, 李传宇, 姚佳, 周连群. Parylene增强型声表面波传感器及其温度响应[J]. 光学 精密工程, 2017, 25(12): 3048. LI Jing, PAN Hai-xi, GUO Zhen, LI Chuan-yu, YAO Jia, ZHOU Lian-qun. Parylene-enhanced SAW sensor and its temperature response[J]. Optics and Precision Engineering, 2017, 25(12): 3048.
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