Parylene增强型声表面波传感器及其温度响应

李敬; 潘海曦; 郭振; 李传宇; 姚佳; 周连群

doi:doi:10.3788/ope.20172512.3048

光学精密工程, 2017, 25 (12): 3048, 网络出版: 2018-01-10

Parylene增强型声表面波传感器及其温度响应

Parylene-enhanced SAW sensor and its temperature response

李敬 ^1,2潘海曦 ³郭振 ¹李传宇 ¹姚佳 ¹周连群 ¹

作者单位

¹ 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所，江苏苏州 215163

² 中国科学院大学材料科学与光电技术学院，北京 100049

³ 西北工业大学材料科学与工程学院，陕西西安 710072

补充材料

李敬, 潘海曦, 郭振, 李传宇, 姚佳, 周连群. Parylene增强型声表面波传感器及其温度响应[J]. 光学精密工程, 2017, 25(12): 3048. LI Jing, PAN Hai-xi, GUO Zhen, LI Chuan-yu, YAO Jia, ZHOU Lian-qun. Parylene-enhanced SAW sensor and its temperature response[J]. Optics and Precision Engineering, 2017, 25(12): 3048.