红外与激光工程, 2020, 49 (11): 20200043, 网络出版: 2021-01-04
高重频KrF准分子激光器能量特性控制 
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Energy characteristics control of high-repetition frequency KrF excimer laser
基本信息
| DOI: | 10.3788/IRLA20200043 |
| 中图分类号: | TN248.2 |
| 栏目: | 激光器与激光光学 |
| 项目基金: | 国家科技重大专项(2013ZX022020) |
| 收稿日期: | 2020-01-24 |
| 修改稿日期: | 2020-03-17 |
| 网络出版日期: | 2021-01-04 |
| 通讯作者: | |
| 备注: | -- |
冯泽斌, 周翊, 江锐, 韩晓泉, 孙泽旭, 张华. 高重频KrF准分子激光器能量特性控制[J]. 红外与激光工程, 2020, 49(11): 20200043. Zebin Feng, Yi Zhou, Rui Jiang, Xiaoquan Han, Zexu Sun, Hua Zhang. Energy characteristics control of high-repetition frequency KrF excimer laser[J]. Infrared and Laser Engineering, 2020, 49(11): 20200043.
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