高重频KrF准分子激光器能量特性控制 | 红外与激光工程 -- 中国光学期刊网

红外与激光工程, 2020, 49 (11): 20200043, 网络出版: 2021-01-04

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Energy characteristics control of high-repetition frequency KrF excimer laser

冯泽斌 ^1,2,3周翊 ^1,3江锐 ^1,3韩晓泉 ^1,3孙泽旭 ²张华 ³

作者单位

¹ 中国科学院微电子研究所，北京 100029

² 中国科学院大学，北京 100049

³ 北京科益虹源光电技术有限公司技术中心，北京 100176

能量控制剂量控制准分子激光器决策控制 energy control dose control excimer laser decision control

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