1 中国科学院微电子研究所，北京 100029
2 中国科学院大学，北京 100049
3 北京科益虹源光电技术有限公司技术中心，北京 100176
能量稳定性和剂量精度是半导体光刻用高重频准分子激光器的重要指标，必须采用高精度的控制算法对其进行控制。针对准分子激光器，首先对准分子激光器的单脉冲能量特性进行了分析，并在分析的基础上建立了准分子激光器的出光能量仿真模型。然后，分别设计了能量稳定性控制算法，基于PID的双闭环剂量精度控制算法和基于决策算法的剂量精度控制算法，并通过在仿真模型上实验对于算法控制效果进行了分析，证明了基于决策算法的剂量精度控制算法的适应性更强。最后，将基于决策的控制算法在一台重频为4 kHz的KrF准分子激光器上进行了验证。该激光器在基于决策的控制算法的控制下，能量稳定性的3σ小于5%，剂量精度小于0.4%，满足半导体光刻的需求。在仿真实验和实际实验中都证明了研究中设计的能量特性控制算法的有效性。
能量控制 剂量控制 准分子激光器 决策控制 energy control dose control excimer laser decision control 红外与激光工程
2020, 49(11): 20200043
中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
针对神光II高功率激光装置前端预放系统输出的能量设计了一种远程能量控制系统，包括半波片-偏振片组合衰减装置以及闭环负反馈控制系统的设计.在光学调整方案上，设计了半波片-偏振片组合衰减装置，对激光能量进行衰减控制.在控制算法上，实现了对能量控制的闭环比例积分微分调整.在调整准确度上，实现了调整准确度为1%，误差低于0.1%的精确控制.本文所设计的高功率激光装置前端能量控制系统利用能量计、步进电机与计算机软件之间的相互通信来实现对能量的闭环比例积分微分控制，适用范围广，可扩展性好，并具有简单易调整、控制精密、结果准确等特点.
激光物理 自动控制应用理论 闭环比例微分积分控制 脉冲激光能量 激光应用 激光脉冲 能量控制 控制设备 Laser physics Automation application theory Closed loop proportion integral derivative control Pulse laser energy Laser applications Laser pulses Energy control Control facilities
1 海军飞行学院教研部，辽宁 葫芦岛 125001
2 海军航空工程学院，山东 烟台 264001
为了提高舰载飞机着舰时的操纵性能，并且解除低动压状态下航迹角和空速之间的强烈耦合，基于总能量控制理论设计了着舰飞行/推力综合控制系统。其基本思想是用发动机推力控制飞机总能量，用升降舵控制总能量的分配率。针对总能量飞控系统的参数难以整定的问题，采用粒子群优化算法对待调参数进行优化。建立了综合衡量航迹角的阶跃响应性能及其与空速之间耦合程度的适应度函数指标。在优化迭代中粒子群算法的惯性权重先线性减小，然后保持恒定不变。该方法既增强了算法对最优解的搜索能力，又加快了算法的收敛速度。最后，频域分析表明优化的参数使航迹角传递函数的带宽满足设计要求；仿真结果验证了该飞控系统的有效性。
舰载飞机 着舰 飞行控制 粒子群算法 总能量控制系统 carrier-based aircraft carrier landing flight control particle swarm algorithm total energy control system
1 高功率激光物理国家实验室, 上海 201800
2 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
对可应用于神光Ⅱ精密化项目的变角度薄膜衰减器进行了理论分析、数值计算,在小激光装置上进行了闭环自动衰减控制实验.模拟实验证实了该衰减器具有精密连续可调、大口径、高能量负载、高光束质量的特点,这是其它光学衰减器难以做到的.
变角度薄膜衰减器 衰减器 闭环自动控制 精密能量控制
