红外与激光工程, 2016, 45 (10): 1021001, 网络出版: 2016-11-14
多层GaN外延片表面热应力分布及影响因素
Surface thermal stress distribution and the influence factors of Sapphire/AlN/GaN epilayers
基本信息
| DOI: | 10.3788/irla201645.1021001 |
| 中图分类号: | TB43 |
| 栏目: | 先进光学材料 |
| 项目基金: | 微光夜视技术重点实验室基金(BJ2014004)、 西安工业大学校长基金(01001302) |
| 收稿日期: | 2016-02-17 |
| 修改稿日期: | -- |
| 网络出版日期: | 2016-11-14 |
| 通讯作者: | |
| 备注: | -- |
陈靖, 程宏昌, 吴玲玲, 冯刘, 苗壮. 多层GaN外延片表面热应力分布及影响因素[J]. 红外与激光工程, 2016, 45(10): 1021001. Chen Jing, Cheng Hongchang, Wu Lingling, Feng Liu, Miao Zhuang. Surface thermal stress distribution and the influence factors of Sapphire/AlN/GaN epilayers[J]. Infrared and Laser Engineering, 2016, 45(10): 1021001.
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