多层GaN外延片表面热应力分布及影响因素 | 红外与激光工程 -- 中国光学期刊网

红外与激光工程, 2016, 45 (10): 1021001, 网络出版: 2016-11-14

多层GaN外延片表面热应力分布及影响因素

Surface thermal stress distribution and the influence factors of Sapphire/AlN/GaN epilayers

陈靖 ^1,2程宏昌 ¹吴玲玲 ^1,2冯刘 ¹苗壮 ¹

作者单位

¹ 微光夜视技术重点实验室, 陕西西安 710065

² 西安工业大学光电工程学院, 陕西西安 710021

热应力氮化镓外延层有限元分析仿真 thermal stress GaN epilayer finite element analysis simulation

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