红外, 2016, 37 (11): 36, 网络出版: 2017-01-03
空间分辨率对半导体器件光学测温结果的影响
Influence of Spatial Resolution on Optical Temperature Measurement Results of Semiconductor Devices
基本信息
| DOI: | 10.3969/j.issn.1672-8785.2016.11.007 |
| 中图分类号: | TN304 |
| 栏目: | 研究论文 |
| 项目基金: | -- |
| 收稿日期: | 2016-09-09 |
| 修改稿日期: | -- |
| 网络出版日期: | 2017-01-03 |
| 通讯作者: | 翟玉卫 (kaoyan071@126.com) |
| 备注: | -- |
翟玉卫, 梁法国, 刘岩, 郑世棋. 空间分辨率对半导体器件光学测温结果的影响[J]. 红外, 2016, 37(11): 36. ZHAI Yu-wei, LIANG Fa-guo, LIU Yan, ZHENG Shi-qi. Influence of Spatial Resolution on Optical Temperature Measurement Results of Semiconductor Devices[J]. INFRARED, 2016, 37(11): 36.
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