红外, 2016, 37 (11): 36, 网络出版: 2017-01-03  

空间分辨率对半导体器件光学测温结果的影响

Influence of Spatial Resolution on Optical Temperature Measurement Results of Semiconductor Devices
作者单位
中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄 050051
引用该论文

翟玉卫, 梁法国, 刘岩, 郑世棋. 空间分辨率对半导体器件光学测温结果的影响[J]. 红外, 2016, 37(11): 36.

ZHAI Yu-wei, LIANG Fa-guo, LIU Yan, ZHENG Shi-qi. Influence of Spatial Resolution on Optical Temperature Measurement Results of Semiconductor Devices[J]. INFRARED, 2016, 37(11): 36.

参考文献

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