强激光与粒子束, 2004, 16 (6): 729, 网络出版: 2006-05-15   

准分子激光光束均匀性的评价指标研究

Research on evaluating norm of excimer laser beam uniformity
作者单位
中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800
引用该论文

李红霞, 楼祺洪, 叶震寰, 董景星, 魏运荣, 凌磊. 准分子激光光束均匀性的评价指标研究[J]. 强激光与粒子束, 2004, 16(6): 729.

LI Hong-xia, LOU Qi-hong, YE Zhen-huan, DONG Jing-xing, WEI Yun-rong, LING Lei. Research on evaluating norm of excimer laser beam uniformity[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2004, 16(6): 729.

引用列表
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5、 准分子激光等离子体开关控制脉宽研究强激光与粒子束, 2006, 18 (7): 1090

李红霞, 楼祺洪, 叶震寰, 董景星, 魏运荣, 凌磊. 准分子激光光束均匀性的评价指标研究[J]. 强激光与粒子束, 2004, 16(6): 729. LI Hong-xia, LOU Qi-hong, YE Zhen-huan, DONG Jing-xing, WEI Yun-rong, LING Lei. Research on evaluating norm of excimer laser beam uniformity[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2004, 16(6): 729.

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