强激光与粒子束, 2004, 16 (6): 729, 网络出版: 2006-05-15   

准分子激光光束均匀性的评价指标研究

Research on evaluating norm of excimer laser beam uniformity
作者单位
中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800
基本信息
DOI: --
中图分类号: TN24
栏目: ICF与激光等离子体
项目基金: 上海市科技发展基金资助课题(021111000)、国家863计划项目资助课题
收稿日期: 2003-07-15
修改稿日期: 2003-12-26
网络出版日期: 2006-05-15
通讯作者:
备注: --

李红霞, 楼祺洪, 叶震寰, 董景星, 魏运荣, 凌磊. 准分子激光光束均匀性的评价指标研究[J]. 强激光与粒子束, 2004, 16(6): 729. LI Hong-xia, LOU Qi-hong, YE Zhen-huan, DONG Jing-xing, WEI Yun-rong, LING Lei. Research on evaluating norm of excimer laser beam uniformity[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2004, 16(6): 729.

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