准分子激光光束均匀性的评价指标研究

李红霞; 楼祺洪; 叶震寰; 董景星; 魏运荣; 凌磊

强激光与粒子束, 2004, 16 (6): 729, 网络出版: 2006-05-15

准分子激光光束均匀性的评价指标研究

Research on evaluating norm of excimer laser beam uniformity

李红霞楼祺洪叶震寰董景星魏运荣凌磊

作者单位

中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800

补充材料

李红霞, 楼祺洪, 叶震寰, 董景星, 魏运荣, 凌磊. 准分子激光光束均匀性的评价指标研究[J]. 强激光与粒子束, 2004, 16(6): 729. LI Hong-xia, LOU Qi-hong, YE Zhen-huan, DONG Jing-xing, WEI Yun-rong, LING Lei. Research on evaluating norm of excimer laser beam uniformity[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2004, 16(6): 729.