移相干涉仪的抗振技术研究进展

何祖斌; 许乔; 柴立群; 邓燕

光学技术, 2007, 33 (3): 0416, 网络出版: 2010-06-03

移相干涉仪的抗振技术研究进展

Advances in vibration cancellation phase-shifting interferometer

何祖斌 ^*许乔柴立群邓燕

作者单位

成都精密光学工程研究中心，成都 610041

补充材料

何祖斌, 许乔, 柴立群, 邓燕. 移相干涉仪的抗振技术研究进展[J]. 光学技术, 2007, 33(3): 0416. HE Zu-bin, XU Qiao, CHAI Li-qun, DENG Yan. Advances in vibration cancellation phase-shifting interferometer[J]. Optical Technique, 2007, 33(3): 0416.