激光技术, 2018, 42 (4): 567, 网络出版: 2018-08-29
激光等离子体对硅表面微纳粒子除去机理研究
Study on removal mechanism of micro-/nano-particles on silicon surface by laser plasma
基本信息
| DOI: | 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2018.04.025 |
| 中图分类号: | O539 |
| 栏目: | 激光与光电子技术应用 |
| 项目基金: | -- |
| 收稿日期: | 2017-08-17 |
| 修改稿日期: | 2017-10-23 |
| 网络出版日期: | 2018-08-29 |
| 通讯作者: | 王平秋 (pq2010wang@163.com) |
| 备注: | -- |
罗锦锋, 宋世军, 王平秋, 刘全喜. 激光等离子体对硅表面微纳粒子除去机理研究[J]. 激光技术, 2018, 42(4): 567. LUO Jinfeng, SONG Shijun, WANG Pingqiu, LIU Quanxi. Study on removal mechanism of micro-/nano-particles on silicon surface by laser plasma[J]. Laser Technology, 2018, 42(4): 567.
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