激光等离子体对硅表面微纳粒子除去机理研究 | 激光技术 -- 中国光学期刊网

激光技术, 2018, 42 (4): 567, 网络出版: 2018-08-29

激光等离子体对硅表面微纳粒子除去机理研究

Study on removal mechanism of micro-/nano-particles on silicon surface by laser plasma

罗锦锋 ¹宋世军 ¹王平秋 ^2,*刘全喜 ²

作者单位

¹ 信阳职业技术学院汽车与机电工程学院, 信阳 464000

² 西南技术物理研究所, 成都 610041

激光技术激光等离子体辐射光谱微纳粒子表面清洗 laser technique laser-induced plasma radiation spectrum micro-/nano-particle surface cleaning

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