飞秒激光诱导金属银纳米布线加工精度的研究

柳森; 王欢; 张永来

doi:doi:10.3788/CJL201744.0102007

中国激光, 2017, 44 (1): 0102007, 网络出版: 2017-01-10

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Processing Precision of Femtosecond Laser Induced Silver Nanowiring

柳森 ^*王欢张永来

作者单位

吉林大学电子科学与工程学院, 吉林长春 130012

引用该论文

柳森, 王欢, 张永来. 飞秒激光诱导金属银纳米布线加工精度的研究[J]. 中国激光, 2017, 44(1): 0102007.

Liu Sen, Wang Huan, Zhang Yonglai. Processing Precision of Femtosecond Laser Induced Silver Nanowiring[J]. Chinese Journal of Lasers, 2017, 44(1): 0102007.

引用列表

1、飞秒激光直写铜微电极研究中国激光, 2019, 46 (10): 1002013

2、飞秒激光光镊直写银微纳结构中国激光, 2018, 45 (4): 402006

柳森, 王欢, 张永来. 飞秒激光诱导金属银纳米布线加工精度的研究[J]. 中国激光, 2017, 44(1): 0102007. Liu Sen, Wang Huan, Zhang Yonglai. Processing Precision of Femtosecond Laser Induced Silver Nanowiring[J]. Chinese Journal of Lasers, 2017, 44(1): 0102007.

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