飞秒激光诱导金属银纳米布线加工精度的研究

柳森; 王欢; 张永来

doi:doi:10.3788/CJL201744.0102007

中国激光, 2017, 44 (1): 0102007, 网络出版: 2017-01-10

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Processing Precision of Femtosecond Laser Induced Silver Nanowiring

柳森 ^*王欢张永来

作者单位

吉林大学电子科学与工程学院, 吉林长春 130012

基本信息

DOI:	10.3788/CJL201744.0102007
中图分类号:	TN249
栏目:	“超快激光加工与微纳制造”专题
项目基金:	国家自然科学基金(61522503, 61376123)
收稿日期:	2016-08-04
修改稿日期:	2016-09-05
网络出版日期:	2017-01-10
通讯作者:	柳森 (liusen343056178@sohu.com)
备注:	--

柳森, 王欢, 张永来. 飞秒激光诱导金属银纳米布线加工精度的研究[J]. 中国激光, 2017, 44(1): 0102007. Liu Sen, Wang Huan, Zhang Yonglai. Processing Precision of Femtosecond Laser Induced Silver Nanowiring[J]. Chinese Journal of Lasers, 2017, 44(1): 0102007.